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10BF-1M5L精密雙面平面研磨機 10BF-1M5P精密雙面平面抛光機

詳細說明

一、主要用途

本機主要通用于矽片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨抛光。

1、壓力精密控制:PLC+PT+精密減壓所實現壓力開環控制;

3、精密傳動系統:高精度小齒隙全齒輪傳動;

4、下盤支撐:高精度平面流體軸承支撐;

5、銷齒傳動内外齒采用銷齒傳動,延長載體使用壽命維護便捷;

6、傳動系統:三電機同步拖動,上盤、下盤和齒圈、太陽輪(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設足,縣有配方功能

三、技術參數

序号
項目 規格參數
1 上下盤尺寸 Φ692mm×Φ240mm×30mm(研磨)
Φ692mm×Φ240mm×30mm(抛光)
2 遊星輪 參數 Z=120,DP12,α=20
數量 5個
3 驅動電機 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨)
5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(抛光)
4 下盤轉速 0~60rpm
5 精度指标 上、下盤平面度 ≤0.015mm
下盤端跳 ≤0.05mm
6 加工範圍 最大加工尺寸 Φ180mm
最小加工厚度 0.15mm(≤2"片)
整盤承載量 9×5=45片(2" 圓片)
7 水源   純水或自來水
8 電源 功率 8.5kW AC390V 50Hz (研磨)
5.0kW AC390V 50Hz (抛光)
線纜規格 三相五線刮.3×4mm2+2×2.5mm2
9 氣源 壓力 壓縮空氣源0.4-0.5Mpa
接管口徑 接口Φ10mm(外徑)
10 外形尺寸   寬×長×高:1040mm×1400mm×2260mm
11 重量   約2000Kg

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