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S-16BF-2M5P精密雙面平面抛光機

詳細說明

一、産品用途

光學玻璃、陶瓷、電子材料及矽片、鍺片、計算機磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度抛光加工,尤其對于5〃(φ125mm)以下矽片及同尺寸規格異形平行平面材料的雙面精密抛光加工具有明顯的優勢。

二、主要特點

1.壓力精密控制:PLC+PT +低摩擦氣缸實現精密壓力控制;

2.上盤減震裝置:動靜态均适用的減振彈性連接方式;

3.精密傳動系統:高精度全齒輪傳動,高精度軸承支撐;

4.下盤支撐:高精度結構軸承支撐,提高設備的精度和運行平穩性;

5.免維護:關鍵器件采用國産優質品牌,冗餘設計安全系數大;

6.強制散熱系統:采用軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接

7.操作便捷:低台面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動升降功能,滿足了取放工件及調整遊輪齧合位置的要求

三、技術參數

序号

項目

規格參數

1

下抛盤

尺寸

φ1155mm×φ348mm×50mm

 

 

轉速

3-60rpm

2

上抛盤

尺寸

φ1155mm×φ348mm×50mm

3

上下盤驅動電機

15kW  AC380V  50Hz 1460rpm(變頻控制)

4

太陽輪驅動電機

2.2kW  AC380V  50Hz 1420rpm(變頻控制)

5

遊星輪

參數

英制:DP12   Z=200  α=20°

 

 

數量

5個

6

供液裝置

攪拌電機

120W,AC380V

 

 

供液泵

1/4HP  容積約40L(雙層)

7

精度指标

下抛盤端面跳動

≤0.05mm

 

 

上、下抛盤平面度

≤0.02mm

8

水源 

純水或自來水

9

電源

18.5kW  AC380V   50Hz(總功率)

10

線纜規格

三相五線制.3×6mm2+2×4mm2

11

氣源

壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外徑)

12

外形尺寸 

寬x長x高:1550mm×2000mm×2740mm

13

重量

約5500Kg

上一條:15BF-2M6P精密雙面平面抛光機 下一條:SP19-5(2.5D/3D)高速弧面棱邊精密抛光機

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