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研磨機多樣化性能介紹

發布時間:2019-01-11

研磨機上,用白剛玉或金剛砂等配制的研磨液将矽片研磨成具有厚度和光潔度的工藝。有單面研磨和雙面研磨兩種方式。

為了制備合乎器件和集成電路制作要求的矽片表面,須進行抛光,以除往殘留的損壞層并獲得厚度的高平整度的鏡面矽片。抛光分機械抛光、化學抛光、電子束抛光、離子束抛光,較普遍采用的是化學機械抛光。在抛光過程中,氫氧化鈉與矽表面反應天生矽酸鈉,通過與二氧化矽膠體的磨削,矽酸鈉進進抛光液,兩個過程不停頓地同時進行而達到抛光的目的。根據不同要求,可用1次抛光、二次抛光(粗抛光和精抛光)或三次抛光(粗抛光、中間抛光和精抛光)。為滿-足大規模集成電路對表面質量和平整度的要求,已有無蠟抛光和無磨料抛光等新-工藝。

用塗上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨的磨床。主要用于研磨工件中内外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。研磨機的主要類型有圓盤式研磨機、轉軸式研磨機和各研磨機。
①圓盤式研磨機:分單盤和雙盤兩種,以雙盤研磨機應用為普通。
②轉軸式研磨機:由正、反向旋轉的主軸帶動工件或研具(可調式研磨環或研磨棒)旋轉,結構比較簡單,用于研磨内、外圓柱面。
③專-用研磨機:依被研磨工件的不同,有中-心孔研磨機、鋼球研磨機和齒輪研磨機等。

此外,還有一種采用類似無心磨削原理的無心研磨機,用于研磨圓柱形工件。
研磨機具備的多樣化性能:
1、抛光機在震動研磨抛光加工進程不損壞0件的原有尺度、形狀。
2、抛光機能完成主動化,操作便利,在作業進程中,可随-時檢查0件的加工狀況。
3、方達雙面研磨機選用世界上領-先的螺旋翻滾活動、三元次振蕩的原理,使0件與磨具相互研磨到達抛光的作用。
4、A類型的抛光機能夠主動将磨料與工件分隔,完成主動選料,節約人工開支。
5、研磨機适用于大批量中、小、尺度0件的研磨抛光加工,節約本錢大概三分之一。

  

上一條:振動研磨機

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